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薄膜具有许多特有的性质,因此引起了科学工作者的极大关注．近年来,薄膜的研究和应用得到了迅速的发展,并且己形成一个专门的物理学分支一—薄膜物理学． 真空镀膜是一种在许多领域(如电子工业、光学仪器制造、薄膜研究等)中有着广泛应用的实用技术．真空镀脂较之传统的电镀、化学镀具有许多优越性,如纯度高、均匀性好、膜厚可以严格控制、材料种类多样．既可镀金属膜、又可以镀介质膜,而且制备方法简单．